Maska do maski na maszynie litograficznej
Wprowadzenie produktu
Źródło światła ekspozycji przyjmuje importowany moduł kształtowania LED i źródła światła, z małym ciepłem i dobrą stabilnością źródła światła.
Odwrócona struktura oświetlenia ma dobry efekt rozpraszania ciepła i efekt bliskiego źródła światła, a wymiana i konserwacja lampy rtęci są proste i wygodne. Wyposażony w podwójny mikroskop lornetki o wysokim powiększeniu i 21 -calowy ekran LCD, można go wizualnie wyrównać
Wyświetlacz oka lub CCD +, z wysoką dokładnością wyrównania, intuicyjnym procesem i wygodną działaniem.
Cechy
Z funkcją przetwarzania fragmentów
Wyrównanie ciśnienia kontaktowe zapewnia powtarzalność przez czujnik
Luka w wyrównaniu i luka ekspozycji można ustawić cyfrowo
Używanie wbudowanego komputera + działanie ekranu dotykowego, proste i wygodne, piękne i hojne
Typ podciągania w górę i w dół, prosty i wygodny
Wsparcie ekspozycja kontaktowa próżniowa, narażenie na trudne kontakt, ekspozycja na kontakt ciśnienia i ekspozycja bliskości
Z funkcją interfejsu interfejsu Nano nadruk
Ekspozycja na pojedynczą warstwę z jednym kluczowym, wysokim stopniem automatyzacji
Ta maszyna ma dobrą niezawodność i wygodną demonstrację, szczególnie odpowiedni do nauczania, badań naukowych i fabryk na uczelniach i uniwersytetach
Więcej szczegółów
Specyfikacja
1. Obszar ekspozycji: 110 mm × 110 mm ；
2. ★ Ekspozycja długość fali: 365 nm;
3. Rozdzielczość: ≤ 1m;
4. Dokładność wyrównania: 0,8 m;
5. Zakres ruchu tabeli skanowania systemu wyrównania powinien przynajmniej spełniać: Y: 10 mm;
Or
7. Rozmiar maski: 2,5 cala, 3 cale, 4 cale, 5 cali;
8. Rozmiar próbki: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Odpowiednie dla grubości próbki: 0,5-6 mm i może obsługiwać najwyżej 20 mm próbki (dostosowane);
10. Tryb ekspozycji: czas (tryb odliczania);
11. Nierównomierność oświetlenia: ＜ 2,5%;
12. Podwójny pola Mikroskop wyrównania CCD: soczewka Zoom (1-5 razy) + obiektyw obiektywu mikroskopu;
13. Udar ruchu maski w stosunku do próbki powinien przynajmniej spełniać: x: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º ；
14. ★ Ekspozycja Gęstość energii:> 30 MW / CM2,
15. ★ Pozycja wyrównania i pozycja ekspozycji działają na dwóch stacjach, a dwa przełączniki silnikowe stacji automatycznie;
16. Wyrównanie ciśnienia kontaktowego zapewnia powtarzalność przez czujnik;
17. ★ Różnica w wyrównaniu i luka ekspozycji można ustawić cyfrowo;
18. ★ ma interfejs nano nadruku i interfejs zbliżeniowy;
19. ★ Operacja ekranu dotykowego;
20. Ogólny wymiar: około 1400 mm (długość) 900 mm (szerokość) 1500 mm (wysokość).
